大型碳化硅反应烧结智能成套生产线
　　在“碳达峰、碳中和”的发展背景下，锂电新能源呈现爆发式发展。传统反应烧结设备的技术参数已经不能满足现有碳化硅陶瓷反应烧结的工艺要求，设计专门用于碳化硅陶瓷烧结的大型反应烧结设备成为突破行业困境的唯一出路。
　　山田集团基于这一需求，组建研发团队，积极探究大型碳化硅反应烧结设备的产业化技术包，成功研发了大型碳化硅反应烧结设备，并掌握成套技术与关键设备的开发研制。该项科技成果通过了省级技术鉴定，入选2022年度山东省首台套重大装备目录。

　　关键技术一：超大型硅基陶瓷结构件真空烧结设备炉温高精度、高均匀度控制及智能运维技术
　　在超大型硅基陶瓷结构件烧结过程中，炉内温度分布的均匀性和温度控制的精度对保证结构件烧结质量起着至关重要的作用。针对大型结构件烧结工艺特性要求，通过理论建模、仿真分析、试验研究等手段，优化超大结构件烧结设备的发热体整体布局，形成均匀稳定的温度场，实现工件的精准高效烧结。采用智能控制和运维技术，开发包含远红外热电偶自动测温系统的烧结设备智能控制系统，保证烧结过程中炉内温度场的均匀性，同时实现设备运行过程的实时监控，提高烧结设备运行可靠性。

　　关键技术二：
　　1、变径发热体技术 ：径发热体设计及布局技术创新，炉内辐射通量密度峰值介于600W/㎡-700W/㎡。
　　2、可旋转发热体结构技术 ：可旋转发热体结构设计及布局技术，共享真空、调压柜系统的设计，实现了多台设备共用真空系统，降低设备成本20%，占地面积缩减30%。
　　3、自冷却电极、水冷法兰技术 ：自冷却电极和水冷法兰设计，设备的极限压力达到10-1 Pa。
　　4、基于红外热电偶自动测温系统的智能温控系统 ：红外热电偶自动测温系统PLC、PID智能温控系统，炉温控制精度在±1℃以内，炉温均匀度控制在±5℃以内。